DIN 50451-7:2018 pdf free download.Testing of materials for semiconductor technology – Determination of traces of elements in liquids – Part 7: Determination of 31 elements in high-purity hydrochloric acid by ICP-MS.
4 Einheiten
Die Massenanteile der Elementspuren sind in Nanogramm je Kilogramm (ng/kg) anzugeben.
5 Kurzbeschreibung des Verfahrens
5.1 Allgemeines
Das Verfahren wird unter staubgeschutzten Bedingungen durchgefuhrt.
Die Probe der zu untersuchenden Flussigkeit kann entweder direkt bzw. nach Verdünnung mit dem IC P-MS gemessen werden oder nach einer Probenvorbereitung durch Eindampfen und Aufnahme des Rückstandes bestimmt werden.
5.2 Direkte Messung bzw. Messung nach Verdünnung
Die Teilproben aus der Probe der zu untersuchenden FlUssigkeit werden im Verhältnis 1 : 10 mit Reinstwasser (6.3) verdünnt und unter Verwendung eines internen Standards mittels Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma als lonenquelle vermessen. Aus dem Verhältnis der Teilprobenmassen und der Massen der zugehorigen Messlosungen nach der VerdUnnung ergeben sich die VerdUnnungsfaktoren.
5.3 Probenvorbereitung durch Abdampfen
Die Teilproben aus der zu untersuchenden Flüssigkeit werden bei Temperaturen unterhaib des Siedepunktes der Probe eingedampft, die RUckstände mit Salpetersäure (6.1) und Reinstwasser (6.3) aufgenommen und unter Verwendung eines internen Standards mittels Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma als lonenquelle gemessen. Aus dem Verhältnis der Teilprobenmassen und der Massen der zugehorigen MesslOsungen nach der Anreicherung ergeben sich die Anreicherungsfaktoren.
6 Reagenzien
6.1 Allgemeines
Mit Ausnahme der Bezugslosungen sind nur Reagenzien zu verwenden, deren Massenanteile an den zu bestimmenden Elementen in den Messlösungen 10 ng/kg nicht überschreiten. Falls die Reinheit der handelsüblichen Chemikalien nicht ausreicht, sind Aufreinigungsverfahren, wie z. B. die Oberflächendestiflation (en: subboiling distillation), heranzuziehen.
6.2 Salpetersäure, HNO3, mit einem Massenanteil w(HNO3) von 65 %.
6.3 Interner Standard, z. B. Lanthannitrat-, Rhodiumnitrat- oder Yttriumnitrat-Losung.
6.4 Reinstwasser, in dem die zu bestimmenden Massenanteile 10 ng/kg nicht Uberschreiten.
6.5 Nullwertlosung, im Rahmen dieser Norm 1st angesäuertes Reinstwasser gemeint, das mit Salpetersaure (6.2) so angesauert wurde, dass sich em Volumenanteil von 1 % Salpetersäure (6.2) ergibt.
6.6 Bezugslosung, im Rahmen dieser Norm ist damit elne Nullwertlosung gemeint, die zusätzlich die Analyte mit bekannter Konzentration mit ausreichender Genauigkeit enthält.DIN 50451-7 pdf download.